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    型號:BTF-1200C-S-PECVD

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    微型PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
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    型號:BTF-1200C-SSL-PECVD

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    雙爐PECVD(等離子化學氣相沉積系統)系統,有多路質量流量計系統(進口流量計),真空機組(進口真空泵),PE射頻電源(進口射頻源),溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時擴大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實驗要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。
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    型號:PECVD-500A-D

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    智能PECVD設備是目前最新型的一款設備,將所有的控制部分集為一體,此款設備是我司于2013年研發成功的,可配備PE射頻電源,將CVD系統升級為PECVD。當參與反應的氣氛進入爐管在射頻電源的作用下產生離子體,可使反應更加充分。同時等離子體起增強的作用,從而很大程度上優化實驗的工藝條件。
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    更新時間:2021-11-10

    型號:BTF-1200C-R-PECVD

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    等離子體增強回轉PECVD系統 主要特點 我司研制的回轉PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。
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    型號:BTF-1200C-S-SL-PECVD

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    小型滑軌式PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
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    單溫區滑軌式PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
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