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化學氣相沉積

簡要描述:迷你智能型等離子體可回轉化學氣相沉積系統
本款設備可以做金屬復合石墨烯材料,是目前先進的金屬復合材料制備設備??梢杂糜趧恿﹄姵?,提升電池內阻和能量密度,有效解決新能源汽車電池的問題。

  • 產品型號:BTF-1200C-R-S-PECVD
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2021-10-14
  • 訪  問  量:826

詳細介紹

品牌貝意克價格區間面議
儀器種類回轉爐產地類別國產
應用領域環保,化工,能源,電子

迷你智能型等離子體可回轉化學氣相沉積系統

1.該設備爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;

2.該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(PECVD),系統可以實現連續滑動溫區,連續可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統,可以實現低壓條件下的實驗,針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。

化學氣相沉積的技術參數:

型號

BTF-1200C-S-R-PECVD

顯示模式

7"液晶觸屏顯示

最高溫度

1200℃

升溫速率

10℃/S

加熱區長度 230mm

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調節,人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

爐管尺寸

Φ25*800mm

爐管轉速

3~13r/min

傾斜角度

0~35°

加熱功率

3KW

射頻功率輸出范圍

0~500W

供氣系統

標配三路質量流量計(50/100/200sccm)

供電電源

220V50Hz

通訊接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

設備凈重

約220KG



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